Комплекты электропитания дуальных магнетронных распылителей
Комплекты серии ELMD - электропитания дуальных магнетронных систем, состоящие из 2-х инверторов (с встроенными ключами), или 2-х/ 4-х инверторов и выносного дуального Ключа серии ELSD (при мощности выше 9 кВт на канал). Данные системы «игнорируют» эффект исчезающего анода», и применяются для напыления сложных пленок - композитов, диэлектриков, керамик.
Увеличение мощности каждого канала дуальной магнетронной системы (до 42кВт и до 63 кВт на канал) достигается применением комплектов, содержащих для каждого канала ведущий инвертор (Master) и 1-2 ведомых инвертора (Slaves), подключаемых к единому дуальному ключу.
Ключи ELSD обеспечивают режим «одиночных» разнополярных импульсов, и режим «пачечный». Частота - фиксированная. Регулируются для каждого канала длительности пауз между импульсами, а также соотношение длительностей «пачек». Динамика защиты - аналогична униполярным.
Модель:
|
Макс. значения вых. параметров
|
Типоразмер:
|
Примечание:
|
Скачать |
Напр., В
|
Ток, А
|
Частота, кГц
|
ELMD-12/600S(-R)
|
...520/650 кажд. канала
|
...15/12А на канал
|
0/1-40
|
19", 4HU * 2
|
----
|
2×7,5кВт/канал, встр. дуал. ключ, одиночн./пачки (соотн. 1:3)
|
.PDF |
ELMD-36/600(-R)
|
...520/650 кажд. канала
|
...40/36А на канал
|
0/1-40
|
19", 4HU * 2
|
G2058
|
2×21кВт/канал, выносн. дуал. Ключ (40 кГц, пачки, соотн. 1:3)
|