4, Building 5, Lane 4922, Moscow, Zelenograd,
"ОАО "ELMA" building, 124460, Russia

Tel/Fax: +7 (495) 988-8394

E-mail: info@esto-el.ru

About usCatalogDocumentationArticlesPartnersContact informationNews
www.esto-el.ru / Catalog / Inverters and supply kits for unipolar magnetron sputtering systems / Инверторы и Комплекты электропитания униполярных магнетронных распылителей

Инверторы и Комплекты электропитания униполярных магнетронных распылителей

Серия ELM - инверторы (с встроенными Ключами при мощности до 9 кВт) или Комплекты (инвертор или 2-3 инвертора, с выносными Ключами серии ELS, мощностью выше 18 кВт) электропитания униполярных магнетронных распылителей. Выпускаются мощностью от 1,5 до 62 кВт. Обеспечивают в нагрузке напряжение постоянного тока (DC), или (с ключами) - импульсное напряжение, с регулируемыми частотой и длительностью паузы генерируемых импульсов.

Любой из выходных параметров - ток, напряжение или мощность - регулируемые.

Увеличение мощности достигается применением Комплектов, содержащих ведущий инвертор (Master) и 1-2-х ведомых инверторов (Slaves), до 21кВт каждый, подключаемые к нагрузке через единый униполярный ключ. Или, для «простых» техпроцессов, без Ключей. Динамическая защита от к.з. и "микродуг" сохраняется, но динамика - разная, и явно в пользу применения Ключей.

О преимуществах, обеспечиваемых Ключами - см. далее.

Осциллограммы: Левая - импульсное униполярное напряжение выхода (гол.), с прерыванием тока нагрузки (желт.) в паузах. Правая  - динамика развития тока к.з. (желт., центр), с прерыванием тока и напряжения в нагрузке после дугогашения на время 70...300 мкс.

Модель:

              

          Макс. значения вых. параметров

Типоразмер:

Примечание:

Скачать

Напр., В

Ток, А

Частота, кГц

"ELM-3/600S(-R)"

650

3,5

0/40

G2038

1,5 кВт, пластик,  встр. ключ, водоохл.

.PDF

"ELM-12/600S(-R)"

...520/650

...15/12

0/1-40

19", 4HU

---

7,5 кВт, возд. охл., встр. ключ

"ELM-18/600(-R)" + "ELS-20/650"

...520/650

...22/18

0/1-40

19", 4HU

G2025

9,0 кВт, возд.  охл., выносн. ключ

"ELM-30/600(-R)" + "ELS-40/650"

...520/650

...36/30

0/1-40

19", 4HU

G2038

18,0 кВт, вод. охл., выносн. ключ

"ELM-36/600(-R)" + "ELS-40/650"

...520/650

...40/36

0/1-40

19", 4HU

G2038

21,0 кВт, вод. охл., выносн. ключ

"ELM-72/600(-R)" + "ELS-80/650"

...520/650

...80/72

0/1-40

19", 4HU * 2

G2038

42,0 кВт, вод. охл., выносн. ключ

"ELM-120/600(-R)" + "ELS-120/650"

...520/650

...120/108

0/1-40

19", 4HU * 3

G2038

62,0 кВт, вод. охл., выносн. ключ

News
01.04.2010
ELI-18/200

The manufacturing of a new multifunctional ion source Inverter of ELI-18/200 type for electric supply of “End Hall” ion sources has been started. In addition to the power supply of main discharge, it has “smart” control system for neutralizer emission, reserve neutralizer control and a double-channel gas flow control subsystem.


all news

OOO "ESTO-EL" Ltd. production undergoes long-term and severe tests, simulating their work in the real conditions (including continuous duty at S/C or at idle mode or operation in conditions of 100 micro arc per second).

Constant "feedback" and prompt response to the comments of our customers is provided.
OOO "ESTO-EL" Ltd. has performed and is willing to go on carrying out the developments, similar to the abovementioned, which are not directly related to the "main activities" of the company.

About us | Catalog | Documentation | Articles | Partners | Contact information | News

© 2010 OOO "ESTO-EL" Ltd.
4, Building 5, Lane 4922, Moscow, Zelenograd,
"ОАО "ELMA" building, 124460
Tel / Fax: +7 (495) 988-8394, e-mail: info@esto-el.ru
www.esto-el.ru
Copying or redistributing any of the copyrighted material of this site is strictly forbidden without written consent of OOO "ESTO-EL" Ltd.

Main | Sitemap | Callback