4, Building 5, Lane 4922, Moscow, Zelenograd,
"ОАО "ELMA" building, 124460, Russia

Tel/Fax: +7 (495) 988-8394

E-mail: info@esto-el.ru

About usCatalogDocumentationArticlesPartnersContact informationNews
www.esto-el.ru / Catalog / Inverters and supply kits for electric potential bias / Инверторы и Комплекты электропитания потенциала электрического смещения

Инверторы и Комплекты электропитания потенциала электрического смещения

Серия ELB - это отдельные одноблочные инверторы с встроенными ключами дугогашения или, при мощности выше 9 кВт - Комплекты серии ELB , состоящие из 1-3-х инверторов, один из которых ведущий (Master) и ведомых (Slaves), с единым выносным Ключом.

Мощность - от 1,5 кВт до 62 кВт.

Отличительная черта серии ELB - ступенчатые выходные ВАХи (типа «лестницы»), с 2-х ступенчатой - для одноблочных изделий, и 3-4-х ступенчатыми - для Комплектов. Что позволяет обеспечить достижение оптимальных (как минимальных, так и максимальных) для реальных техпроцессов значений напряжений и токов смещения, при меньшей установленной мощности изделий. Подробнее - см. далее.

Ключи - той же серии ELS, на напряжения до 1250В, с функцией динамической дугозащиты (с временем отключения не более 2 мкс и временем повторного включения не более 70 мкс). Для использования в процессах нанесения полупроводников, диэлектриков, керамик отдельные Комплекты оснащаются Ключами с частотой коммутации 100 кГц и 250 кГц, в том числе с регулируемыми частотой следования импульсов и временем паузы между импульсами.

4-х уровневая дугозащита Ключей обеспечивает выбор оптимальной энергии, привносимой в разряд при дугогашении на различных стадиях процессов. Подробнее - см. далее.

Изделия серии ELB могут без каких-либо доработок обеспечивать проведение бездефектных процессов обработки изделий в тлеющем разряде. Маломощные "ELB-3/300" с ключом 250кГц разработаны для замены ВЧ-смещения столиков в оборудовании плазмохимической обработки.

Все комплекты (с 2009г.) беспечивают работу без снижения заданных режимов при наличии до 100 микродуг/сек.!!!

Назначение изделия:

Модель:

Макс. значения вых. параметров:

Тип кейса:

Примечаиие:

Скачать

Напр., В

Ток, А

 

Устройства и Комплекты
электропитания потенциала
электриче
cкого смещения
(с ключами дугогашения - генераторами паузы):

"ELB-3/300S (-R)"

300

3

G2038

900 Вт, пластик, встр. ключ 300 кГц, вод. охл., д. у.

.PDF

"ELB-7,5/900S (-R)"

30...900

...7,5

19", 4HU

6,0 кВт, встр. ключ  40кГц,  2 ступ. ВАХ

"ELB-15/400(-R)"  + "ELS-15/400"

30...450

...15

19" 4HU

6,0 кВт, встр. ключ  100кГц

"ELB-15/1200(-R)" + "ELS-15/1250"

... 450/...1200

...18/...15

19", 4HU

18,0 кВт, выносн. ключ, 2 ступ. ВАХ

"ELB-20/900(-R)"  +  "ELS-20/900"

30...450/450...900

...25/...20

19", 4HU

18,0 кВт, выносн. ключ, 2 ступ. ВАХ

"ELB-50/400(-R)"  +  "ELS-50/650"

3...30/40...400

...80/...52

19", 4HU

21,0 кВт, выносн. ключ, 2 ступ. ВАХ

"ELB-50/1000(-R)"  +  "ELS-50/1000"

400...1000

50...400

3...50

32

52

80

 

19", 4HU * 2

 

32,0 кВт, выносн. ключ, 3 ступ. ВАХ

"ELB-80/1000(-R)"  + "ELS-120/1000"

...1000

300...650

40...300

3...50

...56

...60

...70

...120

 

19", 4HU * 3

56,0 кВт, выносн. ключ, 4 ступ. ВАХ

News
01.04.2010
ELI-18/200

The manufacturing of a new multifunctional ion source Inverter of ELI-18/200 type for electric supply of “End Hall” ion sources has been started. In addition to the power supply of main discharge, it has “smart” control system for neutralizer emission, reserve neutralizer control and a double-channel gas flow control subsystem.


all news

OOO "ESTO-EL" Ltd. production undergoes long-term and severe tests, simulating their work in the real conditions (including continuous duty at S/C or at idle mode or operation in conditions of 100 micro arc per second).

Constant "feedback" and prompt response to the comments of our customers is provided.
OOO "ESTO-EL" Ltd. has performed and is willing to go on carrying out the developments, similar to the abovementioned, which are not directly related to the "main activities" of the company.

About us | Catalog | Documentation | Articles | Partners | Contact information | News

© 2010 OOO "ESTO-EL" Ltd.
4, Building 5, Lane 4922, Moscow, Zelenograd,
"ОАО "ELMA" building, 124460
Tel / Fax: +7 (495) 988-8394, e-mail: info@esto-el.ru
www.esto-el.ru
Copying or redistributing any of the copyrighted material of this site is strictly forbidden without written consent of OOO "ESTO-EL" Ltd.

Main | Sitemap | Callback