4, Building 5, Lane 4922, Moscow, Zelenograd,
"ОАО "ELMA" building, 124460, Russia

Tel/Fax: +7 (495) 988-8394

E-mail: info@esto-el.ru

About usCatalogDocumentationArticlesPartnersContact informationNews
www.esto-el.ru / Catalog / Miscellaneous / Инверторы электропитания импульсных магнетронных распылителей

Инверторы электропитания импульсных магнетронных распылителей

Комплекты серии ELMI - предназначены для питания импульсных магнетронных распылителей. На сегодняшний день в разработке единственный «пилотный» образец, со средней выходной мощность 6 кВт.

Комплект включает в состав инвертор накачки емкостного накопителя (до 1000В), совмещенный с устройством питания дежурного разряда (500 Вт) и устройством автоматического поджига дежурного разряда (2 кВ), а также выносной ключ-формирователь разрядного импульса.

Токовые импульсы разряда длительностью 50...300 мкс формируются как пачка импульсов заданной амплитуды путем «подкачки» (включением ключа, с дискретностью 30мкс) тока разряда до заданной для каждого «единичного» импульса пачки амплитуды. Частота импульсов разряда - до 100Гц.

Управление комплектом (как и управление формированием формы выходного импульса тока) - по сетевому интерфейсу RS-485.

ООО «ЭСТО-ЭЛ» проводит указанную разработку используя собственные ресурсы, и приглашает заинтересованных в данной тематике потенциальных Пользователей к сотрудничеству. На снимке - "ELL-6000" (c ключом - формирователем разрядного импульса).

News
01.04.2010
ELI-18/200

The manufacturing of a new multifunctional ion source Inverter of ELI-18/200 type for electric supply of “End Hall” ion sources has been started. In addition to the power supply of main discharge, it has “smart” control system for neutralizer emission, reserve neutralizer control and a double-channel gas flow control subsystem.


all news

OOO "ESTO-EL" Ltd. production undergoes long-term and severe tests, simulating their work in the real conditions (including continuous duty at S/C or at idle mode or operation in conditions of 100 micro arc per second).

Constant "feedback" and prompt response to the comments of our customers is provided.
OOO "ESTO-EL" Ltd. has performed and is willing to go on carrying out the developments, similar to the abovementioned, which are not directly related to the "main activities" of the company.

About us | Catalog | Documentation | Articles | Partners | Contact information | News

© 2010 OOO "ESTO-EL" Ltd.
4, Building 5, Lane 4922, Moscow, Zelenograd,
"ОАО "ELMA" building, 124460
Tel / Fax: +7 (495) 988-8394, e-mail: info@esto-el.ru
www.esto-el.ru
Copying or redistributing any of the copyrighted material of this site is strictly forbidden without written consent of OOO "ESTO-EL" Ltd.

Main | Sitemap | Callback