Инверторы и Комплекты электропитания потенциала электрического смещения
Серия ELB - это отдельные одноблочные инверторы с встроенными ключами дугогашения или, при мощности выше 9 кВт - Комплекты серии ELB , состоящие из 1-3-х инверторов, один из которых ведущий (Master) и ведомых (Slaves), с единым выносным Ключом.
Мощность - от 1,5 кВт до 62 кВт.
Отличительная черта серии ELB - ступенчатые выходные ВАХи (типа «лестницы»), с 2-х ступенчатой - для одноблочных изделий, и 3-4-х ступенчатыми - для Комплектов. Что позволяет обеспечить достижение оптимальных (как минимальных, так и максимальных) для реальных техпроцессов значений напряжений и токов смещения, при меньшей установленной мощности изделий. Подробнее - см. далее.
Ключи - той же серии ELS, на напряжения до 1250В, с функцией динамической дугозащиты (с временем отключения не более 2 мкс и временем повторного включения не более 70 мкс). Для использования в процессах нанесения полупроводников, диэлектриков, керамик отдельные Комплекты оснащаются Ключами с частотой коммутации 100 кГц и 250 кГц, в том числе с регулируемыми частотой следования импульсов и временем паузы между импульсами.
4-х уровневая дугозащита Ключей обеспечивает выбор оптимальной энергии, привносимой в разряд при дугогашении на различных стадиях процессов. Подробнее - см. далее.
Изделия серии ELB могут без каких-либо доработок обеспечивать проведение бездефектных процессов обработки изделий в тлеющем разряде. Маломощные "ELB-3/300" с ключом 250кГц разработаны для замены ВЧ-смещения столиков в оборудовании плазмохимической обработки.
Все комплекты (с 2009г.) беспечивают работу без снижения заданных режимов при наличии до 100 микродуг/сек.!!!
|
Назначение изделия:
|
Модель:
|
Макс. значения вых. параметров:
|
Тип кейса:
|
Примечаиие:
|
Скачать |
|
Напр., В
|
Ток, А
|
|
Устройства и Комплекты
электропитания потенциала
электричеcкого смещения
(с ключами дугогашения - генераторами паузы):
|
"ELB-3/300S (-R)"
|
300
|
3
|
G2038
|
900 Вт, пластик, встр. ключ 300 кГц, вод. охл., д. у.
|
.PDF |
|
"ELB-7,5/900S (-R)"
|
30...900
|
...7,5
|
19", 4HU
|
6,0 кВт, встр. ключ 40кГц, 2 ступ. ВАХ
|
|
"ELB-15/400(-R)" + "ELS-15/400"
|
30...450
|
...15
|
19" 4HU
|
6,0 кВт, встр. ключ 100кГц
|
|
"ELB-15/1200(-R)" + "ELS-15/1250"
|
... 450/...1200
|
...18/...15
|
19", 4HU
|
18,0 кВт, выносн. ключ, 2 ступ. ВАХ
|
|
"ELB-20/900(-R)" + "ELS-20/900"
|
30...450/450...900
|
...25/...20
|
19", 4HU
|
18,0 кВт, выносн. ключ, 2 ступ. ВАХ
|
|
"ELB-50/400(-R)" + "ELS-50/650"
|
3...30/40...400
|
...80/...52
|
19", 4HU
|
21,0 кВт, выносн. ключ, 2 ступ. ВАХ
|
|
"ELB-50/1000(-R)" + "ELS-50/1000"
|
400...1000
50...400
3...50
|
32
52
80
|
19", 4HU * 2
|
32,0 кВт, выносн. ключ, 3 ступ. ВАХ
|
|
"ELB-80/1000(-R)" + "ELS-120/1000"
|
...1000
300...650
40...300
3...50
|
...56
...60
...70
...120
|
19", 4HU * 3
|
56,0 кВт, выносн. ключ, 4 ступ. ВАХ
|
