Москва, Зеленоград,
проезд 4922, дом 4, стр. 5,
территория ОАО «ЭЛМА»".

Тел/факс: (495) 988-83-94

E-mail: info@esto-el.ru

О компанииКаталогДокументацияСтатьиПартнерыКонтактыНовости
www.esto-el.ru / Каталог / Инверторы и Комплекты электропитания дуальных магнетронных систем

Инверторы и Комплекты электропитания дуальных магнетронных систем

Комплекты электропитания дуальных магнетронных распылителей

Комплекты серии ELMD - электропитания дуальных магнетронных систем, состоящие из 2-х инверторов (с встроенными ключами), или 2-х/ 4-х инверторов и выносного дуального Ключа серии ELSD (при мощности выше 9 кВт на канал). Данные системы «игнорируют» эффект исчезающего анода», и применяются для напыления сложных пленок - композитов, диэлектриков, керамик.

Увеличение мощности каждого канала дуальной магнетронной системы (до 42кВт и до 63 кВт на канал) достигается применением комплектов, содержащих для каждого канала ведущий инвертор (Master) и 1-2 ведомых инвертора (Slaves), подключаемых к единому дуальному ключу.

Ключи ELSD обеспечивают режим «одиночных» разнополярных импульсов, и режим «пачечный». Частота - фиксированная. Регулируются для каждого канала длительности пауз между импульсами, а также соотношение длительностей «пачек». Динамика защиты - аналогична униполярным.

Модель:

          Макс. значения вых. параметров

Типоразмер:

Примечание:

Скачать

Напр., В

Ток, А

Частота, кГц

ELMD-12/600S(-R)

...520/650
кажд. канала

...15/12А
на канал

0/1-40

19", 4HU * 2

----

2×7,5кВт/канал, встр. дуал. ключ, одиночн./пачки (соотн. 1:3)

.PDF

ELMD-36/600(-R)

...520/650
кажд. канала

...40/36А
на канал

0/1-40

19", 4HU * 2

G2058

2×21кВт/канал, выносн. дуал. Ключ
(40 кГц, пачки, соотн. 1:3)

Комплекты электропитания дуальных  магнетронных распылителейКомплекты электропитания дуальных  магнетронных распылителейКомплекты электропитания дуальных  магнетронных распылителей

Входящие в Дуальные Комплекты инверторы - серии ELM (см. Инверторы и Комплекты электропитания униполярных магнетронных систем". С 4-х уровневой защитой Ключей (серии ELSD), устанавливаемой Masterом Комплектов.

Ключи Дуальные как устройства, исключающие эффект «исчезающего анода» при напылении полупроводников, диэлектриков, керамик, обеспечивают работу дуальных магнетронных систем. Функции дугогашения (также 4 уровня защит) и частотной коммутации - аналогичные. Два независимых силовых канала (подключаемых к двум инверторам) обеспечивают индивидуальность параметров катодов. Ключи кроме этого реализуют одиночный и «пачечный» режимы частотной коммутации, с регулируемым соотношением времен «пачек» в диапазоне 1:1....1:3. Технологический эффект использования - аналогичен униполярным. Как и их конструктивные особенности.

Картинки ниже - осциллограммы токовых импульсов («пачечный» режим) напыления керамики ZrItO2, дуальная система "ELMD-30/600". Изменения формы импульсов и «пачек» (слева-направо) связано с увеличением парциального давления O2. От «трапецеидальных» - в «треугольные», и далее - в экспоненциально-возрастающие» импульсы.

Отношение амплитуды к среднему значению тока катода достигает 5-ти. «Пачечный» режим снижает указанное отношение относительно режим одиночных импульсов, уменьшая необходимую коммутационную мощность Ключа, но и несколько меняет энергетику процесса.

Новости
31 августа 2017 г.
Новый директор компании "ЭСТО-ЭЛ"

Новый директор компании "ЭСТО-ЭЛ" Архаткин Евгений Петрович


10 октября 2016 г.
Серии ELMI и ELDI

С января 2017г. ООО "ЭСТО-ЭЛ" начинает серийные поставки Инверторов и Комплектов
серии ELMI (СИМР-HiPIMS) и серии ELDI.
Серия ELMI разработана для сильноточного импульсного магнетронного распыления СИМР
(с "длинными", до 20мс импульсами тока), так и для традиционного HiPIMS режима.
С параметрами импульсов до 2кА и 1250В.
Серия ELDI для сильноточного импульсного диффузного разряда (СДР).
С параметрами импульсов до 4кА и 250В.


01 декабря 2009 г.
"ELA-160/40", "ELA-300/40", "ELA-600/40"

Отработана и внедрена в серийное производство серия инверторов электропитания дуговых испарителей - "ELA-160/40", "ELA-300/40", "ELA-600/40" (и, как комплект из 2-х инверторов типа "ELA-600" - изделие типа "ELA-1200/40"). Диапазон токов - от 160А до 1200А.  Автомат. поджиг.  Встроенные коммутаторы тока  с системой управления (для протяженных дуговых испарителей).


все новости

Изделия ООО «Эсто-Эл» подвергаются длительной и жесткой проверке, имитирующей их работу в реальных условиях
(в т.ч. на работу при длительных к.з., холостого хода, работу в условиях 100 микродуг/сек).
Осуществляется постоянная «обратная связь» с Пользователями изделий, оперативное реагирование на их дополнительные пожелания.
ООО «Эсто-Эл» выполняло и готово выполнять разработки, аналогичные вышеназванным, и напрямую не связанные с «основной тематикой» фирмы.

О компании | Каталог | Документация | Статьи | Партнеры | Контакты | Новости

© 2010 «ЭСТО-ЭЛ» ООО, Москва, Зеленоград, проезд 4922, дом 4, строение 5 (территория ОАО «ЭЛМА»).
Тел/факс: +7 (495) 988-83-94, e-mail: info@esto-el.ru
www.esto-el.ru
Перепечатка и копирование материалов сайта без разрешения ООО "ЭСТО-ЭЛ" запрещено.

Главная | Карта сайта | Обратная связь