Инверторы и Комплекты электропитания дуальных магнетронных систем
Комплекты электропитания дуальных магнетронных распылителей
Комплекты серии ELMD - электропитания дуальных магнетронных систем, состоящие из 2-х инверторов (с встроенными ключами), или 2-х/ 4-х инверторов и выносного дуального Ключа серии ELSD (при мощности выше 9 кВт на канал). Данные системы «игнорируют» эффект исчезающего анода», и применяются для напыления сложных пленок - композитов, диэлектриков, керамик.
Увеличение мощности каждого канала дуальной магнетронной системы (до 42кВт и до 63 кВт на канал) достигается применением комплектов, содержащих для каждого канала ведущий инвертор (Master) и 1-2 ведомых инвертора (Slaves), подключаемых к единому дуальному ключу.
Ключи ELSD обеспечивают режим «одиночных» разнополярных импульсов, и режим «пачечный». Частота - фиксированная. Регулируются для каждого канала длительности пауз между импульсами, а также соотношение длительностей «пачек». Динамика защиты - аналогична униполярным.
|
Модель:
|
Макс. значения вых. параметров
|
Типоразмер:
|
Примечание:
|
Скачать |
|
Напр., В
|
Ток, А
|
Частота, кГц
|
|
ELMD-12/600S(-R)
|
...520/650
кажд. канала
|
...15/12А
на канал
|
0/1-40
|
19", 4HU * 2
|
----
|
2×7,5кВт/канал, встр. дуал. ключ, одиночн./пачки (соотн. 1:3)
|
.PDF |
|
ELMD-36/600(-R)
|
...520/650
кажд. канала
|
...40/36А
на канал
|
0/1-40
|
19", 4HU * 2
|
G2058
|
2×21кВт/канал, выносн. дуал. Ключ
(40 кГц, пачки, соотн. 1:3)
|
Входящие в Дуальные Комплекты инверторы - серии ELM (см. Инверторы и Комплекты электропитания униполярных магнетронных систем". С 4-х уровневой защитой Ключей (серии ELSD), устанавливаемой Masterом Комплектов.
Ключи Дуальные как устройства, исключающие эффект «исчезающего анода» при напылении полупроводников, диэлектриков, керамик, обеспечивают работу дуальных магнетронных систем. Функции дугогашения (также 4 уровня защит) и частотной коммутации - аналогичные. Два независимых силовых канала (подключаемых к двум инверторам) обеспечивают индивидуальность параметров катодов. Ключи кроме этого реализуют одиночный и «пачечный» режимы частотной коммутации, с регулируемым соотношением времен «пачек» в диапазоне 1:1....1:3. Технологический эффект использования - аналогичен униполярным. Как и их конструктивные особенности.
Картинки ниже - осциллограммы токовых импульсов («пачечный» режим) напыления керамики ZrItO2, дуальная система "ELMD-30/600". Изменения формы импульсов и «пачек» (слева-направо) связано с увеличением парциального давления O2. От «трапецеидальных» - в «треугольные», и далее - в экспоненциально-возрастающие» импульсы.
Отношение амплитуды к среднему значению тока катода достигает 5-ти. «Пачечный» режим снижает указанное отношение относительно режим одиночных импульсов, уменьшая необходимую коммутационную мощность Ключа, но и несколько меняет энергетику процесса.
