Москва, Зеленоград,
проезд 4922, дом 4, стр. 5,
территория ОАО «ЭЛМА»".

Тел/факс: (495) 988-83-94

E-mail: info@esto-el.ru

О компанииКаталогДокументацияСтатьиПартнерыКонтактыНовости
www.esto-el.ru / Каталог / Прочее / Инверторы электропитания импульсных магнетронных распылителей

Инверторы электропитания импульсных магнетронных распылителей

Комплекты серии ELMI - предназначены для питания импульсных магнетронных распылителей. На сегодняшний день в разработке единственный «пилотный» образец, со средней выходной мощность 6 кВт.

Комплект включает в состав инвертор накачки емкостного накопителя (до 1000В), совмещенный с устройством питания дежурного разряда (500 Вт) и устройством автоматического поджига дежурного разряда (2 кВ), а также выносной ключ-формирователь разрядного импульса.

Токовые импульсы разряда длительностью 50...300 мкс формируются как пачка импульсов заданной амплитуды путем «подкачки» (включением ключа, с дискретностью 30мкс) тока разряда до заданной для каждого «единичного» импульса пачки амплитуды. Частота импульсов разряда - до 100Гц.

Управление комплектом (как и управление формированием формы выходного импульса тока) - по сетевому интерфейсу RS-485.

ООО «ЭСТО-ЭЛ» проводит указанную разработку используя собственные ресурсы, и приглашает заинтересованных в данной тематике потенциальных Пользователей к сотрудничеству. На снимке - "ELL-6000" (c ключом - формирователем разрядного импульса).

Новости
31 августа 2017 г.
Новый директор компании "ЭСТО-ЭЛ"

Новый директор компании "ЭСТО-ЭЛ" Архаткин Евгений Петрович


10 октября 2016 г.
Серии ELMI и ELDI

С января 2017г. ООО "ЭСТО-ЭЛ" начинает серийные поставки Инверторов и Комплектов
серии ELMI (СИМР-HiPIMS) и серии ELDI.
Серия ELMI разработана для сильноточного импульсного магнетронного распыления СИМР
(с "длинными", до 20мс импульсами тока), так и для традиционного HiPIMS режима.
С параметрами импульсов до 2кА и 1250В.
Серия ELDI для сильноточного импульсного диффузного разряда (СДР).
С параметрами импульсов до 4кА и 250В.


01 декабря 2009 г.
"ELA-160/40", "ELA-300/40", "ELA-600/40"

Отработана и внедрена в серийное производство серия инверторов электропитания дуговых испарителей - "ELA-160/40", "ELA-300/40", "ELA-600/40" (и, как комплект из 2-х инверторов типа "ELA-600" - изделие типа "ELA-1200/40"). Диапазон токов - от 160А до 1200А.  Автомат. поджиг.  Встроенные коммутаторы тока  с системой управления (для протяженных дуговых испарителей).


все новости

Изделия ООО «Эсто-Эл» подвергаются длительной и жесткой проверке, имитирующей их работу в реальных условиях
(в т.ч. на работу при длительных к.з., холостого хода, работу в условиях 100 микродуг/сек).
Осуществляется постоянная «обратная связь» с Пользователями изделий, оперативное реагирование на их дополнительные пожелания.
ООО «Эсто-Эл» выполняло и готово выполнять разработки, аналогичные вышеназванным, и напрямую не связанные с «основной тематикой» фирмы.

О компании | Каталог | Документация | Статьи | Партнеры | Контакты | Новости

© 2010 «ЭСТО-ЭЛ» ООО, Москва, Зеленоград, проезд 4922, дом 4, строение 5 (территория ОАО «ЭЛМА»).
Тел/факс: +7 (495) 988-83-94, e-mail: info@esto-el.ru
www.esto-el.ru
Перепечатка и копирование материалов сайта без разрешения ООО "ЭСТО-ЭЛ" запрещено.

Главная | Карта сайта | Обратная связь